激光干涉儀API

以 API XD Laser 6D 激光干涉儀為例，從穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，可記錄精確長(zhǎng)度位置；第二束光作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得；第三束光用作裝在 6D 傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來(lái)測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。

要用于機(jī)床檢測(cè)、校準(zhǔn)等領(lǐng)域，可對(duì)機(jī)床的定位精度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)進(jìn)行高精度測(cè)量和評(píng)估，