菲希爾X射線測厚儀FISCHER XDLM237與同系列的其他型號相比，XDLM237 的核心優勢在于其全自動馬達驅動 X/Y 工作臺。當保護門開啟時，工作臺會自動移到裝卸位置，配合可編程的 Z 軸，非常適合大規模生產零部件的全自動批量檢測，能顯著提升效率。

關鍵性能參數

測量原理：從上往下測量（Top-down），便于分析非平面樣品。

元素范圍：通常為氯（17）到鈾（92），部分資料提及鋁（13）起，最多可同時測定 24 種元素。

測量范圍：常規 0.001 μm 至 50 μm（部分配置可達 100 μm）。

最小光斑：最小準直器可達 0.05 × 0.05 mm（或約 0.1 mm），滿足微小結構測量。

樣品臺：馬達驅動可編程 X/Y 平臺，行程 255 × 235 mm；Z 軸行程 140 mm；樣品最大高度 140 mm，承重 5 kg（降精度可達 20 kg）。

探測器與軟件：采用比例接收器，搭配 WinFTM® 軟件，支持基本參數法（FP），無需標樣即可分析多層鍍層。